组织均匀钽溅射靶材的制备现状

组织均匀钽溅射靶材的制备现状

...a靶钽靶,金属靶材,溅射靶材摘要:广泛应用于电子信息产品制造业中的高纯钽溅射靶材,其微观组织均匀性、晶粒尺寸大小及晶粒..